2019/11/05
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演講題目: Past, Present and Future of MEMS & NEMS (微機電與奈米機電技術之過去、現在、與未來)
Osamu Tabata教授是日本著名的微機電科技先驅,早期以創新開發與CMOS(金氧半)積體電路相容之TMAH非等向性腐蝕術(anisotropic etching)聞名於世,他並且是全世界微機電會議IEEE MEMS-2003年IEEE NEMS-2012年之主辦人,他即將接任日本京都先端科學大學(KUAS)之工學院院長。
時 間:2019/11/05 ( 14:00 ~ 16:00 )
地 點:工學大樓E680
主 講 人:日本京都大學機械系Osamu Tabata教授
主辦單位 :機械系
計畫別:全球在地逐鹿萬里--研究茁壯群雄爭鋒
發佈單位:機械系
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