演講題目: Past, Present and Future of MEMS & NEMS (微機電與奈米機電技術之過去、現在、與未來)

Osamu Tabata教授是日本著名的微機電科技先驅，早期以創新開發與CMOS(金氧半)積體電路相容之TMAH非等向性腐蝕術(anisotropic etching)聞名於世，他並且是全世界微機電會議IEEE MEMS-2003年IEEE NEMS-2012年之主辦人，他即將接任日本京都先端科學大學(KUAS)之工學院院長。